· 采用定电位电解式传感器，对被测气体具有选择性
· 高检测灵敏度
· 能检测很多种类的半导体特气
· 液晶数字显示
规格:
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型号 |
XD-303AH |
XD-303PH |
XD-303BH |
XD-303 |
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检测对象气体 |
砷烷 (ASH3) |
磷烷 (PH3) |
乙硼烷(B2H6) |
其它 |
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检测范围 |
0～1ppm |
0～1ppm |
0～1ppm |
因规格而异 |
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最小刻度 |
0.1ppm0.01ppm |
0.1ppm0.01ppm |
0.1ppm |
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采样方式 |
自动吸引式 | |||
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应答速度 |
60%应答40秒 | |||
