型号　　

XP-703D　　

检测对象气体　　

半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)　　

检测原理 　　

热线型半导体式　　

采样方式 　　

自动吸引式　　

可检测浓度(单位:ppm)　　

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 　　

检测表示　　

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 　　

应答速度　　

10秒以内