产品简述： XDS-7PH半导体材料气体泄漏检测仪
XDS-7PH半导体材料气体泄漏检测仪
产品特点


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只要更换传感器单元就可以检测对象气体
用盒式传感器单元无需进行检测器校正
大幅度削减成本和维护时间
技术参数


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型号
XPS-7

对象气体
半导体材料气体

检测原理
定电位电解式

取样方式
自动吸引式

测量范围
根据规格

分辨率
满量程的百分之一

指示精度
FS±10%以内

报警方式
报警灯闪烁，蜂鸣器断续鸣叫

使用环境
0°C～+40°C

电源
5号锰干电池4节或AC专用变压器

使用时间
连续12小时以上（使用碱性干电池无报警、20℃时）

外形尺寸
W762×H150×D128㎜(除去突起物)

重量
约1.3kg

标配附件
肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤片2张





对象气体一览表


型号
气体
F.S
型号
气体
F.S
型号
气体
F.S

XDS-7NH
NH3
100ppm
XDS-7GH
GeH4
1ppm
XDS-7HS
H2S
50ppm

XDS-7SH
SiH4
25ppm
XDS-7CL
CL2
5ppm
XDS-7CO
CO
250ppm

XDS-7DC
SiH2CL2
25ppm
XDS-7CF
CLF3
1ppm
XDS-7DS
Si2H6
25ppm

XDS-7AH
AsH3
250ppb
XDS-7HC
HCL
25ppm
XDS-7F2
F2
5ppm

XDS-7PH
PH3
1ppm
XDS-7HF
HF
10ppm
XDS-7OZ
O3
1ppm

XDS-7BH
B2H6
500ppb
XDS-7HB
HBr
10ppm



XDS-7SE
H2Se
250ppb
XDS-7NO
NO
100ppm