风机过滤单元由于高级别的洁净房间(如百级间)需要百级甚至十级层流罩用以解决工艺需求,洁净室吊顶上部将设立一个个巨大的送风静压箱,静压箱内设立通风机,这些静压箱连同送风管、回风管占据了很大的空间,使得维修空间变的狭小,有时甚至影响消防通道的使用。
但是当使用FFU的时侯,洁净室的吊顶被分成了若干模块,每个模块就是一个FFU,这样我们可以通过调节每个模块(即FFU)来满足吊顶上部送风静压箱的压力平衡的要求,从而大大降低了对该静压箱高度的要求。同时可以节省巨大的送、回风管,故可节省安装空间。尤其是在改造工程受到层高限制时,FFU有效地解决了这一问题。