<DIV>A significant portion of energy use in cleanroom environmental systems is associated with recirculating air systems. This article will review and analyze design factors and operational</DIV>
<DIV>performance of airflow systems in ISO Class 5 cleanrooms. It will also discuss benefits of efficient cleanroom airflow designs in conjunction with effective cleanroom contamination control.</DIV>
<DIV>This article will consider the following common recirculating air system designs:</DIV>
<DIV>* Fan-tower (FT) with pressurized-plenum</DIV>
<DIV>* Distributed air handler unit (AHU)</DIV>
<DIV>* Fan-filter unit (FFU)</DIV>