本文以一个实际的高精度恒温恒湿洁净室为例，在对其房间气流组织进行分析的基础上，优化了空气处理系统。系统采用了一套合理的控制方法，在满足洁净室所需高级别洁净度的同时，使洁净室的温湿度也分别达到了正负0.1摄氏度、正负5%的设计要求，并大幅度降低了制冷机组的成本和运行费用。